亚微米级精度

通过高分辨率CMOS和精密光学设计，Z轴（高度方向）分辨率可达0.1~1μm，横向（X轴）分辨率达1~10μm）。

高速扫描与实时处理

单次扫描可获取整条轮廓线数据，效率远超点激光逐点扫描。结合FPGA加速算法，可实现μs级数据处理，最高可实现8000hz刷新频率。

非接触式测量

无需接触被测物体（如软性材料、精密电子元件），避免划伤或变形。适应复杂表面， 可测量高温、易碎或动态目标。

工作温度范围

支持-20℃至40℃宽温运行，内置温度补偿算法

湿度适应性

耐受10%-95%RH非冷凝湿度，满足半导体洁净室全年高湿度环境连续检测需求

抗振动性能

5-2000Hz振动环境下误差 < 0.5μm

防护等级标准

IP67级防尘防水设计，匹配制造车间焊接机器人等安装使用的严苛工况。