光谱共焦位移传感器
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超高重复性
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超高线性度
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超快速采样频率
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超大测量角度
应用场景
晶圆厚度测量
手机屏幕 R角测量
油膜厚度与液位高度测量
PCB 元器件高度差测量
测量原理
白色点光源通过色散共焦探头后照射到目标上，光源中不同波长成分形成纵向分布；目标上的光点通过共轴光路返回后通过小孔光阑，接入到光谱仪中。当与目标的距离产生变化时，聚焦的光线的波长也会随之变化，在光谱仪中产生不同的光谱分布。
ZTS#-CSC#系列传感头
| 型号 | 参考距离*1 | 测量范围 | 测量角度*2 | 光斑直径*3 | 重复精度*4 | 线性误差*5 | 外径*长度 | 重量 | 最小可测透明厚度 | 温度特征 | 防护等级 |
| ZTS0008-CSC | 8mm | ±0.05mm | ±46.5° | φ2.7μm | 3nm | <±0.03μm | φ40*111.5mm | 256g | 5% of F.S. | <0.03% F.S./℃ |
IP40 |
| ZTS001-CSC | 10mm | ±0.2mm | ±43° | φ7μm | 12nm | <±0.12μm | φ40*99.4mm | 186g | |||
| ZTS0007-CSC | 6.5mm | ±0.3mm | ±32.5° | φ8μm | 16 nm | <±0.18μm | φ20*110mm | 73g | |||
| ZTS002-CSC | 20mm | ±0.6mm | ±32° | φ9.5μm | 30nm | <±0.3μm | φ36*106.3mm | 182g | |||
| ZTS005-CSC | 50mm | ±1mm | ±14° | φ20μm | 85 nm | <±0.6μm | φ34*90.7mm | 162g | 10% of F.S. | <0.1% F.S./℃ |
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| ZTS0009-CSC | 9mm | ±1.2mm | ±60° | φ5.5μm | 45nm | <±0.48μm | φ94*267.5mm | 2350g | 5% of F.S. | <0.03% F.S./℃ |
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| ZTS0015-CSC | 15mm | ±1.3mm | ±31° | φ9μm | 50nm | <±0.3μm | φ36*97.9mm | 228g | 5% of F.S. | ||
| ZTS0007-CSC3 | 7mm | ±1.5mm | ±12.5° | φ20μm | 100nm | <±0.6μm | φ8*65.7mm | 23g*6 | 10% of F.S. | <0.05% F.S./℃ |
IP67 |
| ZTS0015-CSC4 | 14.5mm | ±2mm | ±21° | φ12μm | 100nm | <±0.8μm | φ32*158.8mm | 238g | 5% of F.S. | <0.03% F.S./℃ |
IP40 |
| ZTS0038-CSC | 38mm | ±2mm | ±21° | φ16μm | 100nm | <±0.8μm | φ36*126.1mm | 226g | |||
| ZTS004-CSC | 40mm | ±3mm | ±14° | φ22μm | 140nm | <±1.2μm | φ30*65.3mm | 112g | <0.05% F.S./℃ |
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| ZTS0045-CSC | 45 mm | ±3.5mm | ±15.5° | φ20μm | 140nm | <±1.4μm | φ36*84.2mm | 200g | <0.03% F.S./℃ |
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| ZTS0047-CSC | 47mm | ±3.5mm | ±21° | φ16μm | 140nm | <±1.4μm | φ52*207mm | 784g | |||
| ZTS005-CSC10 | 50mm | ±5mm | ±13° | φ20μm | 250nm | <±2μm | φ36*84mm | 203g | |||
| ZTS0055-CSC | 55mm | ±8mm | ±15.3° | φ15μm | 300nm | <±2μm | φ60*211.1mm | 1180g | |||
| ZTS006-CSC | 60mm | ±10mm | ±10.5° | φ25μm | 290nm | <±2μm | φ36*163mm | 310g | |||
| ZTS01-CSC | 100mm | ±25mm | ±9.5° | φ25μm | 850nm | <±5μm | φ60*217.3mm | 1154g | |||
| ZTS0006-CSCR | Radial 5.75mm | ±0.75 mm | ±14° | φ20μm | 80 nm | <±0.3μm | φ8*70.2mm | 23g*6 | 10% of F.S. | ||
| ZTS0003-CSCR | Radial 3mm | ±0.75mm | ±12° | φ17μm | 100nm | <±0.75μm | φ3.8*85 mm | 23g*6 | |||
| ZTS0005-CSC4 | Axial:4.7mm | ±2mm | ±12.5° | φ20μm | 100nm | <±1.2μm | φ8*73.1mm | 59g*6 | |||
| ZTS0008-CSCR | Radial:8mm |
*1 以量程中心位置计算；
*2 使用标准平面反射镜，在1kHz采样率下倾斜测试；
*3 测量锐利玻璃边缘，采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证
*4 测量标准镀银膜反射镜，1kHz无平均，连续采集10000组数据的均方根偏差；
*5 采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证；
*6此型号探头包含尾端3m跳线，表中重量包含跳线重量。
ZTS#-CSC# 系列控制器
| 型号 | ZTS-CSC-CS | ZTS-CSC-CD | ZTS-CSC-CF | ZTS-CSC-CH | |
| 可连接传感头数 | 1 | 2 | 4 | 16 | |
| 采样频率 | 单通道模式: Max.10 kHz；双通道模式: Max.5 kHz；四通道模式: Max.2.5 kHz; | 支持最多16个传感头同时连接 | |||
| 输入端口 | 编码器输入 | AB/ABZ编码器输入，可配置用于触发 | |||
| 触发信号输入 | 脉冲/电平触发 | ||||
| 输出端口 | 数字信号输出 | 警报输出、比较器输出 | |||
| 模拟信号输出 | 线性±10 V模拟电压输出/4~20 mA模拟电流输出(可选模块) | ||||
| 工业接口 | Ethernet接口 | 100BASE-Tx | |||
| USB接口 | 符合USB2.0 Full-speed标准 | ||||
| RS-485接口 | Modbus协议，19200~115200波特率 | ||||
| 测控软件 | 上位机软件 | Confocal Studio测控软件 | |||
| 二次开发包 | C++、C#SDK | ||||
| 额定功率 | 电源电压 | 24VDC±10% | |||
| 电流消耗 | 0.4A | ||||
| 环境耐性 | 工作温度 | 0至+50℃ | |||
| 工作温度 | 20 至 85% RH(无冷凝) | ||||
| 重量 | 2000g | ||||
