白光干涉薄膜测厚传感器
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超高重复精度
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超高线性精度
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超高采样频率
应用
多层 PET 薄膜的厚度测量
超薄柔性玻璃 (UTG) 的厚度测量
锂离子电池隔膜的厚度测量
触摸屏用 ITO 薄膜的厚度测量
测量原理
白色点光谱通过干涉探头后照射到样品表面，样品上下表面的反射光同时被干涉探头接收，两路反射光之间的相位差和薄膜厚度相关，从而能够通过对干涉条纹的解析，计算出薄膜的厚度值。
ZTS#-CSIT# 系列传感头
| 型号 | 参考距离*1 | 测量角度*2 | 光斑类型*3 | 重复精度*4 | 线性精度*5 | 外径*长度 | 重量 | 防护等级 |
| ZTS005-CSIT | 50mm±2mm | ±3° | 聚焦光点，φ100μm | 1nm | <±20nm | φ30*58mm | 90g | IP40 |
| ZTS001-CSITW | 非聚焦探头，建议安装距离5-10mm | ±10° | 弥散光斑，在10mm安装距离时光斑直径约为4mm | 1nm | <±20nm | φ6.35*3200mm*6 | 190g | IP40 |
*1 聚焦位置，此处传感器的回光信号最强；
*2 使用标准平面反射镜，在1kHz采样率下倾斜测试；
*3 测量锐利玻璃边缘，采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证；
*4 测量标准膜厚样品，1kHz无平均，连续采集10000组厚度数据的均方根偏差；
*5 理论值；
*6 3200mm 长度指含线缆在内的探头总长度。
ZTS#-CSIT# 系列控制器
| 型号 | ZTS-CSIT - S100 (适配ZTS005-CSIT) |
ZTS - CSIT - S100W (适配ZTS001-CSITW) |
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| 可连接传感头数 | 1 | ||
| 采样频率 | Max.10kHz | ||
| 厚度测量范围 | 约1μm~100μm(折射率1.5时) | ||
| 输入端口 | 编码器输入 | AB/ABZ编码器输入，可配置用于触发 | |
| 触发信号输入 | 脉冲/电平触发 | ||
| 输出端口 | 数字信号输出 | 警报输出、比较器输出 | |
| 模拟信号输出 | 线性±10 V模拟电压输出/4~20 mA模拟电流输出(可选模块) | ||
| 工业接口 | Ethernet接口 | 100BASE - TX | |
| USB接口 | 符合USB2.0 Full-speed标准 | ||
| RS-485接口 | Modbus协议,19200~115200 波特率 | ||
| 测控软件 | 上位机软件 | ConfocalStudio测控软件 | |
| 二次开发包 | C++&C#SDK | ||
| 额定功率 | 电源电压 | 24 VDC±10% | |
| 电流消耗 | 0.4A | ||
| 环境耐性 | 工作温度 | 0 至 +50℃ | |
| 工作温度 | 20 至 85% RH(无冷凝) | ||
| 重量 | 2000g | ||
